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電容薄膜真空計 屬彈性元件真空計，彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室，即參考壓強室和測量室。測量低壓強 (P<100帕)時，參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當(dāng)測量室壓強不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測量，即在固定電極...

近幾年來，電容式薄膜真空計取得了重大突破，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提升了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使之測量下限達到10-3Pa。現(xiàn)以兩種雙電容式薄膜真空計的結(jié)構(gòu)為例介紹電容式薄膜真空計的最新進展。 第一種是差動式雙電容薄膜真空計 如下圖所示的新式雙電容式薄膜真空規(guī)是一類差動式結(jié)構(gòu)。在彈力膜片3的兩側(cè)對稱裝有固定電極1和2，分別為形成靜態(tài)電容C01和C02。彈力膜片3將規(guī)管分隔成...

薄膜規(guī)真空計是一種常用的高精度真空計，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域。薄膜規(guī)真空計的校準(zhǔn)是保證其測量準(zhǔn)確性的關(guān)鍵步驟。以下是一種薄膜規(guī)真空計的校準(zhǔn)方法及相關(guān)設(shè)備與流程的介紹： 校準(zhǔn)設(shè)備：薄膜規(guī)真空計校準(zhǔn)設(shè)備通常包括標(biāo)準(zhǔn)真空計、校準(zhǔn)室、真空泵、氣瓶、壓力控制器等。 校準(zhǔn)流程： ...