電容薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
電容薄膜真空計原理是根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化而制成的真空計,它由電容式薄膜規(guī)管(又稱為電容式壓力傳感器)和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法,具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。
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