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CDG-70A-8M
CDG-70A-8M
CDG-70A-8M

電容薄膜規(guī)是一種膜片受到壓力后產生形變的引起電容變化并將其轉化為電信號的傳感器，信號的強弱由受到的壓力大小決定。

CDG70系列是基于電容式測量單元開發(fā)的一款數(shù)字智能絕對壓力變送器。測量單元由純度大于99.9%的陶瓷膜片構成，具有不區(qū)分氣體種類，高精度、無遲滯等優(yōu)點。該系列產品全程采用最先進的數(shù)字處理技術，大大提高了傳感器測量精度，和智能化程度，可以直接以數(shù)字信號輸出壓力值、溫度值，適應過程控制的數(shù)字化趨勢。

數(shù)字電路還可以提供傳感器噪聲抑制功能并提高了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償精度。同時考慮到客戶傳統(tǒng)電容薄膜規(guī)的使用習慣，本產品保留了傳統(tǒng)模擬信號輸出功能，可以無縫替換所有傳統(tǒng)型號電容薄膜規(guī)。

產品概述
■ 高要求的應用條件下，精確而快速的壓強測量
■ 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導體制造設備
■ 半導體，光學，航空航天和化學制造
■ 冷凍，干燥制造設備


產品特點

■ 測量全程數(shù)字化，量程在范圍內任意遷移
■ 數(shù)字通訊，避免二次儀表誤差，簡化控制設備
■ 強大的抗過載能力
■ 快速的響應時間
■ 超過對外發(fā)布指標規(guī)格
■ 高精度，高穩(wěn)定性
■ 超寬補償溫度范圍:-20~+80℃
■ 模擬信號任意遷移
■ 量程范圍:10%-100%
■ 替代傳統(tǒng)模擬信號電容薄膜規(guī)
■ 快速開機預熱時間5s
■ 壓力誤差:2.0%。，電壓誤差:1%。

技術參數(shù)

性能參數(shù)

物理參數(shù)

電氣參數(shù)（電壓）

精度

0.2% F.S

殼體

316L

激勵/輸出

0-10V，RS485

響應時間

≤100ms

尺寸

見尺寸圖

電流消耗

＜10mA

耐壓

40bar

電氣鏈接

Dsub9

符合CE標準

符合

分辨率

0.01% F.S

壓力接頭

見尺寸圖

符合RoSh

符合

長期穩(wěn)定性

一年內誤差±0.5%

材料

AL2O3

熱效應

環(huán)境參數(shù)

溫度補償

是

溫度

-20~60℃

零點漂移

±0.03%F.S/year

工作溫度

-20~60℃

量程漂移

±0.03%F.S/year

儲存溫度

-40~135℃

線路圖

尺寸圖

訂購信息


名稱

型號/輸出

量程范圍

接口類別

密封圈

CGD

70A

0~5/10VDCRS485

4P

400Pa

1T

1 Torr

4F

4 Female VCR

00

Viton

70B

4~20mA

02

2KPa

5T

5 Torr

4M

4 MaleVCR

01

FFKM

7VS

2xRelay,RS485

05

5KPa

KT

10 Torr

8F

8 Female VCR

02

Customized

10

10KPa

TT

20 Torr

8M

8 MaleVCR

20

20KPa

HT

100 Torr

C1

Conflat Flang 16

40

40KPa

QT

1000 Torr

K1

NW16-KF

1H

100KPa

6M

600~1100mbar

K2

NW25-KF

2H

200KPa

8M

800~1100mbar

2T

1/2”Tube

4H

400KPa

CS

Customized

4T

1/4”Tube

1M

1MPa

8N

1/8”NPT內螺紋

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