MPG 真空計是新一代高性價比的真空測量解決方案,適合大批量試用。
這一顆傳感器元件是基于第二代MEMS熱導率芯片設(shè)計而成,并把輸出信號變送為標準的工業(yè)信號。
熱導率芯片的工作原理是:真空度越高,氣體的熱導率越差,熱導率傳感器的熱損失越少。
放大電路將傳感器芯片的微小信號放大,然后再微處理器中數(shù)字化,然后通過I2C通訊將傳感器的測量值對外輸出。由于熱導率在測量真空時會受到溫度的干擾,所以我們在電路中加入了溫度傳感器,微處理器獲得了溫度數(shù)據(jù)之后,利用專門的溫度補償算法,修正了環(huán)境溫度對傳感器的干擾。
為了防止在熱導率芯片白加熱時產(chǎn)生信號漂移,我們在微處理器中加入了中斷功能,確保傳感器芯片每次工作(自加熱)的時間不超過100 毫秒。
MPG系列真空計的輸出信號經(jīng)過嚴格標定。對外輸出標準的工業(yè)信號,如0~10V,4~20mA,RS485或者其他標準工業(yè)信號。標定后的輸出精度,可以達到測量值的15%,可以匹配或超出行業(yè)內(nèi)其它品牌皮拉尼真空變送器的精度。
MPG系列真空計還有顯示表可選。就地顯示真空數(shù)值,便于使用者直觀了解真空設(shè)備的工作情況。