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CDG-70B-K1
CDG-70B-K1
CDG-70B-K1

電容薄膜規(guī)是一種膜片受到壓力后產(chǎn)生形變的引起電容變化并將其轉(zhuǎn)化為電信號的傳感器，信號的強(qiáng)弱由受到的壓力大小決定。

CDG70系列是基于電容式測量單元開發(fā)的一款數(shù)字智能絕對壓力變送器。測量單元由純度大于99.9%的陶瓷膜片構(gòu)成，具有不區(qū)分氣體種類，高精度、無遲滯等優(yōu)點(diǎn)。該系列產(chǎn)品全程采用最先進(jìn)的數(shù)字處理技術(shù)，大大提高了傳感器測量精度，和智能化程度，可以直接以數(shù)字信號輸出壓力值、溫度值，適應(yīng)過程控制的數(shù)字化趨勢。

數(shù)字電路還可以提供傳感器噪聲抑制功能并提高了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償精度。同時考慮到客戶傳統(tǒng)電容薄膜規(guī)的使用習(xí)慣，本產(chǎn)品保留了傳統(tǒng)模擬信號輸出功能，可以無縫替換所有傳統(tǒng)型號電容薄膜規(guī)。

產(chǎn)品概述
■ 高要求的應(yīng)用條件下，精確而快速的壓強(qiáng)測量
■ 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ 半導(dǎo)體，光學(xué)，航空航天和化學(xué)制造
■ 冷凍，干燥制造設(shè)備


產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 測量全程數(shù)字化，量程在范圍內(nèi)任意遷移
■ 數(shù)字通訊，避免二次儀表誤差，簡化控制設(shè)備
■ 強(qiáng)大的抗過載能力
■ 快速的響應(yīng)時間
■ 超過對外發(fā)布指標(biāo)規(guī)格
■ 高精度，高穩(wěn)定性
■ 超寬補(bǔ)償溫度范圍:-20~+80℃
■ 模擬信號任意遷移
■ 量程范圍:10%-100%
■ 替代傳統(tǒng)模擬信號電容薄膜規(guī)
■ 快速開機(jī)預(yù)熱時間5s
■ 壓力誤差:2.0%。，電壓誤差:1%。

技術(shù)參數(shù)

性能參數(shù)

物理參數(shù)

電氣參數(shù)（電流）

精度

0.5% F.S

殼體

316L

激勵/輸出

4~20mA

響應(yīng)時間

≤100ms

尺寸

見尺寸圖

電流消耗

＜10mA

耐壓

40bar

電氣鏈接

Dsub 9 (FeMale)

符合CE標(biāo)準(zhǔn)

符合

分辨率

0.001% F.S

壓力接頭

見尺寸圖

符合RoSh

符合

長期穩(wěn)定性

一年內(nèi)誤差±0.5%

材料

AL2O3

熱效應(yīng)

環(huán)境參數(shù)

溫度補(bǔ)償

是

溫度

-20~60℃

零點(diǎn)漂移

±0.03%F.S/year

工作溫度

-20~60℃

量程漂移

±0.03%F.S/year

儲存溫度

-40~135℃

線路圖

尺寸圖

訂購信息


名稱

型號/輸出

量程范圍

接口類別

密封圈

CGD

70A

0~5/10VDCRS485

4P

400Pa

1T

1 Torr

4F

4 Female VCR

00

Viton

70B

4~20mA

02

2KPa

5T

5 Torr

4M

4 MaleVCR

01

FFKM

7VS

2xRelay,RS485

05

5KPa

KT

10 Torr

8F

8 Female VCR

02

Customized

10

10KPa

TT

20 Torr

8M

8 MaleVCR

20

20KPa

HT

100 Torr

C1

Conflat Flang 16

40

40KPa

QT

1000 Torr

K1

NW16-KF

1H

100KPa

6M

600~1100mbar

K2

NW25-KF

2H

200KPa

8M

800~1100mbar

2T

1/2”Tube

4H

400KPa

CS

Customized

4T

1/4”Tube

1M

1MPa

8N

1/8”NPT內(nèi)螺紋

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